简述微流量检测器的特点及组成

微 流 量 检 测 器

微流量检测器是一种利用敏感元件的热敏特性测量微小气体流量变化的新型检测器。其传感元件是两个微型热丝电阻，和另外两个辅助电阻组成惠斯通电桥。热丝电阻通电加热至一定温度，当有气体流过时，带走部分热量使热丝元件冷却，电阻变化，通过电桥转变成电压信号。

微流量传感器中的热丝元件有两种，一种是栅状镍丝电阻，简称镍格栅，它是把很细的镍丝编织成栅栏状制成的。这种镍格栅垂直装配于气流通道中，微气流从格栅中间穿过。另一种是铂丝电阻，在云母片上用超微技术光刻上很 细的铂丝制成。这种铂丝电阻平行装配于气流通道中，微气流从其表面掠过。

这种微流量检测器实际上是一 种微型热式质量流量计，它的体积很小，毛细管气流通道内径仅为0 . 2～0 . 5mm), 有较高的灵敏度，精度优于±1%,价格也较便宜。采用微 流量检测器替代薄膜电容检测器，可使红外分析器光学系统的体积大为缩小，可靠性、耐振性等性能提高，因而在红外、氧分析仪等仪器中得到了较广应用。