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(1) 故障现象 仪表示值偏低。
原因①：样气中可能存在可燃气体。氧化锆固体电解质工作在600-850℃高温下，如果样气中存在碳氢化合物、H2、CO、NH3等可燃性组分，将发生燃烧反应而耗氧，故导致仪表示值偏低。
处理方法：抽样检查样气，如果样气中确有可燃气体存在，则应调整工况除去可燃气体，或者在样气系统中加装净化器除去可燃气体组分。
原因②：探头过滤器堵塞、气阻增大，影响被测气体中氧分子的扩散速度。
处理方法：反向吹扫、清洗过滤器，如果不能疏通，则更换过滤器。
原因③：炉温过高。
处理方法：检查校正炉温。
原因④：量程电势偏高。
处理方法：利用给定电势差校正量程电势。
(2) 故障现象 仪表示值偏高。
原因①：锆管道破裂漏气。
处理方法：检查更换锆管。
原因②：锆管产生小裂纹，导致电极部分短路渗透。
处理方法:检查更换。
原因③：锆管老化。
处理方法：处理锆管内阻，方法是在仪表规定的工作温度下，用数字万用表检测两电极引线间的阻值，一只新的锆管内阻应小于50欧姆，如果锆管内阻不大于100欧姆，可适当提高炉温继续使用。若仪表误差过大，超出允许误差范围时，应更换锆管。
原因④：炉温过低，造成锆管内阻过高。
处理方法：检查校正炉温。
(3) 故障现象 仪表无指示。
原因①：电路未加热。
处理方法：检查温度控制电路的加热器、热电偶等，找出电炉不加热的原因，处理。
原因②：信号输出回路开路。
处理方法：检查输出回路接线，确保接触良好。
原因③：锆管多孔铂电极短路。
处理方法：用数字万用表检查锆管内阻，在仪表规定的工作温度下，如果锆管两电极引线间的阻值大于100欧姆，则应更换锆管。
(4) 故障现象 仪表无论置于任何一档，示值均指示满量程。
原因①：电极信号接反了。
处理方法：正确连接。
原因②：锆管电极脱落，或经长期使用后铂电极蒸发。
处理方法：检查锆管两电极间电阻，如果超过100欧姆，则应更换锆管。
(5) 故障现象 表头指针抖动。
原因①：放大器方法倍数过高。
处理方法：检修放大器，调整放大倍数。
原因②：接线接触不良。
处理方法：检查并紧固接线端子。
原因③：插接件接触不良。
处理方法：清洗插接件。
(6) 故障现象 输出信号波动大。
原因①：取样点位置不合适。
处理方法：和工艺配合检查、更改取样点位置。
原因②：燃烧系统不稳定，超负荷运行或有明火冲击锆管，气样流量变化大。
处理方法：和工艺配合检查，调整工艺参数，检查，更换气路阀件。
原因③：样气带水并在锆管中汽化。
处理方法：检查样气有无冷凝水或水雾，锆管出口稍向下倾斜或改进样气预处理系统。