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薄膜电容检测器又称薄膜微音器,由金属薄膜片动极和定极组成电容器,当接收气室内 的气体压力受红外辐射能的影响而变化时,推动电容动片相对于定片移动,把被测组分浓度 变化转变成电容量变化。
薄膜电容检测器是红外线气体分析器长期使用的 传统检测器,目前使用仍然较多。它的特点是温度变 化影响小、选择性好、灵敏度高,但必须密封并按交流调制方式工作。其缺点是薄膜易受机械振动的影响,接收气室漏气,即使有微漏,也会导 致检测器失效,调制频率不能提高,放大器制作比较困难,体积较大等。
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